ارتفاع مستوى المادة السيليكون المعدن 2502

مادة وطريقة تحضير بمبيد السيليكات المعدنية أمعدن السيليكون 2502البنية النانوية ، التي تضم بنية نانو مبيد المعادن ملفقة على ركيزة SOI ؛ سماكة الطبقة العازلة العازلة لهذا الركيزة SOI هي 100-1000 nm ، وسمك فيلم السيليكون 50-500 nm. تشمل طريقة التحضير التنظيف ، والتجفيف ، وطبقة التدوير مقاوم ضوئي إيجابي ، والتعرض ، والتطوير والتثبيت ، ثم تصنيع بنية نمط القناع للبنية النانوية المطلوبة على سطح الفيلم السيليكون الرقيق لركيزة SOI.

1.مادة وطريقة تحضير بمبيد السيليكات المعدنية أالمعدن السيليكون 2502البنية النانوية ، التي تضم بنية نانو مبيد المعادن ملفقة على ركيزة SOI ؛ سماكة الطبقة العازلة العازلة لهذا الركيزة SOI هي 100-1000 nm ، وسمك فيلم السيليكون 50-500 nm. تشتمل طريقة التحضير على أن الركيزة SOI يتم تنظيفها وتجفيفها ومغطاة بمقاوم ضوئي إيجابي ومكشوف وتطوير وتثبيت ، ويتم تصنيع بنية نمط القناع للبنية النانوية المطلوبة على سطح الفيلم الرقيق للسيليكون لركيزة SOI. يتم استخدام الحفر الأيوني التفاعلي لحفر فيلم السيليكون على الركيزة SOI في البنية النانوية المطلوبة ، وعمق الحفر هو سمك فيلم السيليكون ، ثم على الطبقة العازلة التي تحتوي يتم ترسيب المبيل المعدني ، ثم يتفاعل المعدن والسيليكون في مرحلة صلبة عن طريق الصلب عالية الحرارة لتشكيل سيلبيات معدنية ، ويتم إزالة المعدن غير المتفاعل عن طريق التآكل الكيميائي ، أي أن البنية النانوية المعدنية المعدنية تتشكل. هذه الطريقة بسيطة ويمكنها التحكم في موضع وحجم البنية النانوية.

الوسم : مادة عالية المستوى معدن السيليكون 2502، الصين مادة عالية المستوى معدن السيليكون 2502 المصنعين والموردين والمصنع