المعادن المعدنية عالية المستوى 551

وهي طريقة لتصنيع جهاز أشباه الموصلات ، ويشتمل جهاز أشباه الموصلات على جسم أشباه الموصلات مع سطح ، والسطح مجاور لمنطقة السيليكون ومنطقة المواد العازلة ، يتم تزويد كل منطقة سيليكون بطبقة علوية منالمعدن السيليكون 551، يتم ترسيب المعدن على سطح جسم أشباه الموصلات ، ثم يتم تسخين جسم أشباه الموصلات إلى درجة حرارة تشكيل سيلبيات معدنية في عملية الترسيب. ما يتم ترسيبه هو الكوبالت والنيكل ، ثم يتم تسخين جسم أشباه الموصلات إلى درجة حرارة حيث يتم تشكيل الكوبالت أو النيكل. من أجل تجنب نمو سيليسيدات المعادن في كل جزء من منطقة المواد العازلة المجاورة لكل منطقة سيليكون.

1.من أجل تقليل صعوبة عملية المتابعةالمعدن السيليكون 551تم تنقية المعادن السيليكون على أساس تقنية التخليل الناضجة لدرجة حرارة الغرفة وتقنية أكسدة الأكسجين الرطبة الجديدة. تتمثل الوظيفة الرئيسية في التخليل في إزالة معظم الشوائب المعدنية المكشوفة على سطح جزيئات المعادن السيليكون ؛ بعد أكسدة الأكسجين الرطب ، ينتشر البورون مع معامل تخثر صغير (معامل التخثر في أنظمة السيليكون والسيليكا) في الجسيمات في السيليكا في درجة حرارة عالية ، ثم يآكل لإزالة طبقة الأكسيد والشوائب الموجودة فيه. تُظهر التجارب أن الطريقة لها تأثير تنقية واضح على شوائب البورون ، وأن محتوى الشوائب البورون منخفض مثل 4 × 10-6.

الوسم : المعادن السيليكون المعدنية عالية المستوى 551 ، الصين مستوى المعادن المعدنية عالية المستوى 551 المصنعين والموردين والمصنع