وصف المنتجات
نيتريد السيليكونالأفلام الرقيقة لها بنية كثيفة وقوة عالية ومقاومة جيدة للارتداء ، ويمكن استخدامها كمكونات هيكلية في أجهزة MEMS. تم اختبار معامل يونغ وصلابة أفلام نيتريد السيليكون بواسطة طريقة PECVD ، وتم تحليل آثار درجة حرارة الترسب ونسبة تدفق غاز التفاعل على معامل يونغ وتم تحليل صلابة الأفلام. تم استخدام فيلم نيتريد السيليكون كحزمة تعليق لتصنيع مفاتيح MEMS RF.
معلمات المنتجات
| درجة | N | سي | كاليفورنيا مين | يا دقيقة | ج مين | آل مين | Fe Min |
| si3n 485-99 | 32-39 | 55-60 | 0.25 | 1.5 | 0.3 | 0.25 | 0.25 |
صورة تعاون المنتجات
1.نيتريد السيليكونالسيراميك هي السيراميك الهيكلية عالية الحرارة وعالية القوة مع آفاق التطوير الواسعة. له أداء عالي (مثل القوة العالية ، واستقرار الصدمة الحرارية الجيدة ، ومتانة عالية التعب ، وقوة الانثناء العالية في درجة حرارة الغرفة ، ومقاومة التآكل ، ومقاومة الأكسدة ، ومقاومة التآكل ، وما إلى ذلك) ، وقد استخدمت على نطاق واسع في جميع مناحي الحياة. تشمل طرق تحضير نيتريد السيليكون بشكل أساسي تلبيد التفاعل (RS) ، وتلبيث الضغط الساخن (HPS) ، وتلبيث الضغط في الغلاف الجوي (PLS) وتلبيخ الضغط الهوائي (GPS). في الوقت الحاضر ، فإن المشكلة الرئيسية هي أن منتجات السيراميك السيليكونية لها صلابة منخفضة وتكلفة عالية. في المستقبل ، من الضروري تحسين عمليات الطحن والقولبة والتلبيخ ومركبة نيتريد السيليكون وكربيد السيليكون لتطوير سيراميك نيتريد سيليكون أفضل.
الوسم : نيتريد السيليكون المعدني عالي المستوى ، الصين رفيع المستوى من المصنّعين للسيليكون المعدني المصنّعين والموردين والمصنع